一般的無(wú)油干式泵和油封機(jī)械泵相比，其壓縮比較小，要克服高的壓力差，向大氣直接排氣，還需要抽除大量的顆粒物，因此選擇有效地抽氣機(jī)構(gòu)是非常重要的。爪式泵油高的容積效率和內(nèi)壓縮，轉(zhuǎn)子可告訴無(wú)接觸的運(yùn)轉(zhuǎn)，是實(shí)現(xiàn)干式抽氣較好的抽氣機(jī)構(gòu)，但它也需要多級(jí)串聯(lián)方能達(dá)到所需的極限壓力。爪型轉(zhuǎn)子除能壓縮氣體之外，還有轉(zhuǎn)子自行開(kāi)閉的閥門作用，即周期地開(kāi)閉泵腔的入口和出口。由于有內(nèi)壓縮和這種閥門作用，可實(shí)現(xiàn)高的壓縮比和高的容積效率。在功率消耗低的情況下有較高的抽速。被抽氣體的種類對(duì)壓縮比的影響較小。轉(zhuǎn)子與泵體之間的間隙較大，小顆粒物很容易抽除。這種抽氣原理的干式泵，目前我國(guó)已有多家生產(chǎn)。
下面以全爪型轉(zhuǎn)子的四級(jí)泵為例介紹下：
該泵的主軸為垂直安裝，氣流可從頂部向底部流動(dòng)，這樣的不知有利于顆粒物及液體的排放。各級(jí)泵腔的抽氣容積除第一級(jí)較大外，其他各級(jí)均相等。由于抽氣郭鵬程在各級(jí)間隙的返流所處的流動(dòng)狀態(tài)的不同，其各級(jí)反流情況也不盡相同，各級(jí)所能達(dá)到的壓縮比也不相同。在中間各級(jí)的排氣口出現(xiàn)沉淀物時(shí)，在這些部位上使用可拆的管道，用快速接頭連接，不必拆開(kāi)整臺(tái)泵就能對(duì)泵進(jìn)行清洗。軸承和密封處用水冷卻，中間部分中空氣冷卻。這樣可使轉(zhuǎn)子和泵體的溫差小。與被抽介質(zhì)接觸的表面耐腐蝕。轉(zhuǎn)子由馬達(dá)和齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，軸承和齒輪處有潤(rùn)滑。選用一種特殊的活塞環(huán)密封裝置，以防潤(rùn)滑油蒸汽向泵腔內(nèi)泄露。該四級(jí)為層狀結(jié)構(gòu)，檢修方便，定位精度高。
該泵有專用的監(jiān)控系統(tǒng)，如泵溫、壓力、流量等由傳感器來(lái)控制。為了安全運(yùn)行，泵入口出設(shè)有過(guò)濾網(wǎng)，灰塵收集器及消音器。整個(gè)泵可裝載一個(gè)罩內(nèi)，對(duì)其進(jìn)行吸氣，以防止被抽氣體的外泄。這種泵裝載四個(gè)小滾輪上移動(dòng)方便。
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