從日常生活用電燈泡的制造，到宇航模擬艙的實驗，所有真空工程中的應(yīng)用設(shè)備。都是通過真空系統(tǒng)實現(xiàn)的。不同的真空應(yīng)用設(shè)備，所用的真空系統(tǒng)是不完全一樣的，但其基本組成是類似的。圖1給出了一套典型高真空系統(tǒng)簡圖。從圖中可以看出，一套較完善的真空系統(tǒng)，應(yīng)該由下列元件組成。
圖1 高真空抽氣系統(tǒng)簡圖
1-被抽容器;2-真空測量規(guī)管;3-主閥;4-預(yù)真空管道閥.5-前級管道閥.
6-軟連接管道；7-放氣閥；8-前級泵； 9-主泵(油擴散泵)；10-水冷障板
①被抽容器 在具體真空應(yīng)用設(shè)備上統(tǒng)稱為真空室，沒有真空室則不能組成真空系統(tǒng)，只能稱為真空機組。
②抽氣設(shè)備 各種類型真空泵.
③測量裝置 各種類型真空測量儀器。
④其他元件 真空管道、閥門、捕集器、法蘭、接頭、波紋管、貯氣罐、除塵器、繼電器等。
根據(jù)不同的工藝需要，采用不同的上述各種真空元件.組成具體實用的真空系統(tǒng).
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