在真它系統(tǒng)的暴露表面上單一層單分子層氣體的氣體里基本上就是一個無限的氣源，這使真空泵處于滿負荷工作狀態(tài)?？梢姽獾牟ㄩL為5x10-5cm左右，而單分子層中分子之間的間隔為10-7cm。了解這一點可以更突出單分子層的微小程度。當裝配真空系統(tǒng)時，必須用液體對其表面進行化學清洗，并要求清洗液在蒸發(fā)干燥后，其殘留物完全可忽略不計。此外，用于最后清洗的液體的蒸氣壓必須足夠高，以便在不太長的時間內(nèi)可以揮發(fā)、干燥。
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